技术编号:19232007
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示领域,特别是涉及一种半导体的制备方法、半导体、显示面板及显示装置。背景技术目前,显示器大多是以薄膜晶体管(tft)为开关元件的有源阵列驱动显示器。tft是一种场效应半导体器件,包括衬底、半导体沟道层、绝缘层、栅极和源漏电极等几个重要组成部分。在常规的tft制程中,需要经过多次“化学气相沉积(cvd)、光阻涂布、曝光、显影、离子植入、去光阻”循环。该工艺过程较复杂,且需要多台涂布机、曝光机、离子植入机、去光阻机、活化机等,生产周期长,生产成本高。发明内容本发明主要解决的技术问题是...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。