技术编号：1925611
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及碲化铥靶材的生产工艺。 背景技术碲化铥(TmTe)为II - ΥΠ族化合物。铥(Tm)为稀土元素，熔点1595 V，沸点1700 °C。熔点和沸点的差异很小。具有强的金属性，一定的挥发性，在中温500 800 °C蒸发速率较大。碲(Te)为半金属，熔点449. 53 °C，沸点990 °C，在高中温的蒸汽压很大，在800 0C以上，蒸汽压成几何级数增加，具有金属和非金属性能。Tm和Te的元素反应，至今世界研究较少，连Tm-Te相图还未建立，更缺乏...
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