技术编号:19307259
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种扩散炉,尤其涉及一种用于太阳能电池片制造的扩散炉。背景技术扩散技术是制备太阳能电池片的关键工序,它是将一定量的某种杂质掺杂到晶体硅中,扩散的微观过程是物质的一种输运过程,是通过半导体晶格格点的无规则运动产生,这种运动总是由粒子浓度较高的地方向着浓度较低的地方进行,从而使粒子的分布趋于均匀。其中,硼扩散技术是制作n型太阳能电池片的关键技术,通过使用三溴化硼(bbr3)液体在n型硅片基体上形成pn结、前表面场(fsf)或者背表面场(bsf)。在硼扩散过程中,硼掺杂浓度的分布依赖于硅...
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