技术编号:19311879
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及高性能铝钪合金靶材技术领域,尤其涉及一种铝钪合金溅射靶材及其制备方法。背景技术铝中添加一定的钪,可起到细化晶粒、提高再结晶温度、改善抗腐蚀性、提高强度和塑性等作用,因此铝钪合金具有高强度、耐腐蚀性、耐高温且可焊性好的综合性能,在航空航天、核能工程、半导体等尖端科技领域以及交通运输、家用电器等领域具有广泛的应用。随着科技的高速发展,以及各国对关键领域用关键材料研究的重视,对铝钪合金靶因此,研究开发出一种简单、快速的制备铝钪合金靶材的方法,对于半导体和关键领域用溅射靶材的发展具有十分重要的...
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