技术编号：19318019
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种自带定位基面的组合式太赫兹金属矩形波导制造方法，属于太赫兹微器件精密制造领域。背景技术太赫兹波的传输、构建、接收、探测都强烈依赖于太赫兹系统中各种高品质的太赫兹微结构器件。太赫兹波导是其中一种最具代表性的关键核心器件，种类复杂多样，金属空芯镀层矩形波导具有损耗低、柔韧性好和安全性高等优点，应用需求日益迫切。太赫兹金属空芯矩形波导由于传输特性，是典型的大长径比微型器件，其腔体端面尺寸微小、加工公差、圆角及内层粗糙度要求极高，例如工作频率为1thz的太赫兹金属矩形波导其腔体端面尺寸为1...
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