技术编号:19334560
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多工位的真空镀膜设备,属于真空度膜设备技术领域。背景技术真空镀膜是指在真空环境下利用物理或化学手段在工件表面沉积一层具有特殊用途膜层的表面处理方法,由于在通常情况下,人们在对工件进行镀膜前都需先对工件进行预加热处理,在现有技术中,真空镀膜箱体内均设置有加热装置,但是现有的加热装置往往是固定不可调节的,从而致使所述预加热装置无法根据实际所需相应调整加热角度及位置,另外,镀膜工件在加工过程中的角度不易调节,进而容易造成被加热处理的工件受热不均,大大影响后续镀膜的效果,为此,提供一种...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。