技术编号:19418230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于电子器件的测试装置的探针卡(probecard)。特别地而非唯一地,本发明涉及一种探针卡,该探针卡包括至少一个中间支撑件,该中间支撑件连结(linkto)至主支撑件或主pcb、特别地旨在与测试装置连接,该中间支撑件特别地能够形成其相对的两个面上的多个接触垫之间的距离的空间变换(即用作空间变换器),并且出于简化陈述的目的以下公开是参考该应用领域作出的。背景技术如广泛已知的,测量卡(也称为探针卡)本质上为适于将微结构(特别是集成在晶片上的电子器件)的多个垫或接触垫与执行功能性测试(...
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