技术编号：19429328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及涂层制备技术领域，具体涉及一种大气等离子喷涂制备al-zro2/y2o3复合涂层材料的方法。背景技术y2o3和zro2作为陶瓷材料在ic装备关键零部件的防护和金属材料抗高温氧化领域有广泛应用。以刻蚀机反应腔为例，刻蚀使用强腐蚀性气体高能等离子体轰击，产生出高强的腐蚀环境，处于其中的金属零件会产生严重的腐蚀，释放出金属离子或粒子污染腔体，导致芯片电路短路。在这种情况下，高纯致密的氧化物陶瓷材料是一种比较理想的防护材料。传统的ic装备零部件多采用阳极氧化铝涂层进行防护。由于零部件处于强的腐...
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