技术编号:19469214
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制备聚苯乙烯微球阵列的方法,特别涉及一种在碲化锌表面制备聚苯乙烯微球阵列的方法。背景技术周期性表面纳米阵列结构作为表面改性研究的热点,可广泛应用于表面抗反射层、光栅、表面干涉以及选择性表面光吸收诸多领域。然而由于周期性表面纳米阵列结构对形貌要求较为苛刻,因此对材料表面掩模板的制备提出了更高的要求。传统光刻工艺过程中的掩模板虽然能够满足较高的精度要求,然而由于其加工过程的局限导致了光刻所用的掩模板难以实现纳米尺度下的刻蚀要求,并且其并不能够满足形状较为复杂的结构制备要求。文献“yex...
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