技术编号：19520225
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于金刚石膜加工技术领域，具体涉及一种在金刚石膜研磨过程中，能够保障金刚石膜高平整度，且能实现方便快捷测量金刚石膜去除量的金刚石膜研磨工装。背景技术cvd金刚石膜在许多行业具有极佳的应用前景。但是生长态cvd金刚石厚膜表面非常粗糙，使用之前基本上都需要对表面进行研磨甚至抛光处理。普遍采用的方式是以金刚石粉作为磨料的机械研抛。在该过程中，首先将自支撑金刚石厚膜固定在一个工装上。工业上一般采用石墨或金属圆块作为支撑体，然后通过热熔胶(松香石蜡，火漆等)等将生长态金刚石膜固定在支撑体上。将支...
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