技术编号：19540504
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空泵、装备于真空泵的磁轴承部及轴杆，更详细地讲，涉及使真空泵的总高变低的构造。背景技术近年来，配设有真空泵的下一代半导体装置有大型化的趋势。但是，在将该半导体装置和配设于该半导体装置的真空泵收纳的房间的大小方面存在制约。所以，有代替处于大型化趋势的下一代半导体装置而想要使被配设的真空泵小型化、即想要使总高变低这一市场要求。在半导体制造装置的排气中，较多地使用高性能且可靠性也较高的磁轴承式的涡轮分子泵。由固定于定子的电磁铁使轴杆磁悬浮而非接触地保持的磁轴承式的涡轮分子泵的总高有受磁轴承...
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