技术编号：1956623
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术本发明涉及一种用于流体注入的装置和方法，其用于将试剂向等离子体内的延期传递和均匀分配。特别是，本发明涉及一种注射器，用于在各种基材例如玻璃、石英、金属或金属化材料以及塑料上沉积防护涂层。将聚碳酸酯(PC)片材或薄膜用于户外应用场合如建筑的上釉和汽车的上釉都要求保护PC使之免于磨损。因此，通常在PC上形成耐磨涂层。已经发展了各种用于耐磨涂层的常规沉积技术。例如，化学汽相沉积(CVD)、物理汽相沉积(PVD)和等离子增强的化学汽相沉积(PECVD)被广...
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