技术编号：19641730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种投影物镜偏振像差测量方法。背景技术椭偏仪是一种椭偏测量领域使用最广泛的测量仪器，它是一种利用光的偏振特性获取待测样品信息的通用光学测量仪器，其基本原理是通过起偏器将特殊的椭圆偏振光投射到待测样品表面，通过测量待测样品的反射光(或透射光)，以获得偏振光在反射(或透射)前后的偏振状态变化(包括振幅比和相位差)，进而从中提取出待测样品的信息。近年来，为适应不同测量条件与用户群体的需要，多种配置类型的椭偏仪取得了长足的发展，包括旋转起偏器型、旋转检偏器型、单旋...
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