技术编号：19649843
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及管式扩散炉领域，具体地，涉及一种管式扩散炉。背景技术在晶体硅太阳能电池生产中，扩散工艺的主要用途是在高温条件下对太阳能池片进行掺杂形成pn结(即在加热条件下将v族杂质元素磷掺入p型硅或将iii族杂质硼掺入n型硅中制备pn结)。扩散制备pn结的工艺对于太阳能电池的转换效率有重要影响，是太阳能电池生产中极为重要的工序。随着太阳能电池向高效、低成本方向发展，各大太阳能电池厂商都在设法提升产能，提升生产效率，通过规模效应降低太阳能电池生产成本，以提升竞争力。管式扩散炉的扩散工艺在其反应管内...
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