技术编号:1969024
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种多线切割机,具体地说是一种多线切割机水冷却方法及装置。 背景技术机床设备的冷却方式主要为水冷却和油冷却。水冷却换热快,冷却效果好,但对冷 却设备,管路及阀体等要求也比较高。目前,多线切割机通常只对主轴及切割机构和砂浆 (一种油基研磨液)进行冷却,控制其切割温度,使其切割温度控制在22-25° C范围内,从 而提高切割品质。但随着晶片行业的发展,切割效率需求更高,切片尺寸更大,市场急切需 求更大型的多线切割机。而这种大型多线切割机所加工的晶片尺...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。