技术编号：19733836
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于气体检测技术领域，特别涉及一种纳米机电氢气传感器及其制备方法。背景技术我国是第一产氢大国，具有丰富的氢源基础。预计到2050年氢在我国终端能源体系占比至少达10％。作为一种清洁、高效的二次能源，氢气具有易燃、易爆等特性。在室温与标准大气压下，当空气中氢气体积浓度达4％～75％时，氢气变得易燃且极易发生爆炸。因而研制出能灵敏探测氢气浓度的传感器尤为重要。钯金属由于对氢气极为敏感而常作为氢气传感器的敏感媒介。当钯金属暴露于含氢气的环境中，氢分子会吸附于钯金属的表面，逐渐分解为氢原子，并渗透...
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