技术编号:19844018
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及加工设备技术领域,具体涉及一种电子元件加工用加工机台。背景技术在电子元件制造过程中,电子元件在化学机械研磨机台中经过抛光后,要继续经过一系列的清洗步骤,除去在抛光过程中,晶片表面所残留的研磨液,以及微粒等脏污,用以保证晶片后续加工制造过程中的质量,从而完整的完成化学机械研磨的工艺,现有的电子元件抛光、清洗均是由自动化机台完成,随着电子元件加工用加工机台的发展,电子元件加工用加工机台也得到了技术改进,但是现有技术:加工机台不能对电子元件进行精确加工。实用新型内容(一)要解决的技术问题...
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