技术编号:19866615
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种pecvd系统,特别是一种双向管式pecvd系统及其制备工艺。背景技术pecvd技术是在低气压下,利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的工艺气体,这些气体经一系列化学反应和等离子体反应,最终在样品表面形成固态薄膜。现有的pecvd设备包括取放舟系统和pecvd工艺反应炉管两部分,其中,取、放舟系统位于pecvd工艺反应炉管的同一侧,及石墨舟的进口和出口为同一个,但是此种方式存在的弊端是同...
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