技术编号：1989721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及烧结MgO原料粉末而得到的多晶MgO烧结体(以下，简称“MgO烧结 体”)及其制造方法、以及使用MgO烧结体的溅射用MgO靶材。背景技术由于MgO为具备优良的热传导率、耐热性、化学稳定性、耐氧化性及绝缘性的材 料，所以用于以耐热用途为代表的各种各样的用途(参照专利文献1、2)。该MgO具有较好的烧结性，即使通过普通烧结也能够得到相对密度接近99%的致 密度。但是，难以将烧结密度提高到理论密度，在烧结体中残存微孔或达数μ m的细孔，即 气孔。为了提...
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