技术编号:19946983
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光阻涂布技术领域,尤其涉及一种涂胶机的喷嘴清洗治具及其清洗块。背景技术cfcoater(中文名:彩膜涂胶机)主要负责进行彩色滤光片玻璃基板的彩色光刻胶(即光阻)的涂布,涂布后的玻璃基板依次经过干燥、曝光、显影、烘烤后,才能形成特定的图案(pattern)格式。其中,由于涂胶机喷嘴(coaternozzle)每涂完一张玻璃基板后,在喷嘴周围都会残留一部分光刻胶等物质,这些物质如果不及时清理就会硬化,影响涂布作业,因此,现有技术通常利用具有“v”形开口的橡胶(rubber)来对喷嘴尖端(n...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。