技术编号：1999245
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及用于玻璃制造业中的磁控溅射镀膜线上用于吸真空的管路，尤其是ー种具有缓冲作用的真空装置。背景技术目前在玻璃生产中，磁控溅射镀膜线上的真空管路一般都是与用于吸真空的电机硬性连接的，这样在工作时，电机与管路之间会产生震动，容易导致管路与电机的连接处断开，造成漏气，引想生产。发明内容为了克服现有技术的不足，本实用新型提供ー种具有缓冲作用的真空装置。为了达到上述目的，本实用新型的解决方案是ー种具有缓冲作用的真空装置，包括管体和电机，所述管体的出风ロ处与...
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