蚀刻液喷射速度获取系统及方法与流程技术资料下载

技术编号:20002871

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本发明涉及显示技术领域,尤其是涉及一种蚀刻液喷射速度获取系统及方法。背景技术在显示面板制备过程中,需要使用蚀刻液对膜层(如铜层等金属膜层)进行刻蚀,以形成所需要的图案,例如源极、漏极等。不同规格的蚀刻液(例如不同浓度的蚀刻液、不同厂家的蚀刻液等)对膜层的刻蚀速率不同,这就导致相同的环境条件以及喷射速度下,不同规格的蚀刻液对膜层的刻蚀结果不同(体现为蚀刻参数不同)。每种规格的显示面板都需要一个较佳的蚀刻参数,为了得到这个蚀刻参数,现有技术需要在显示面板制造线上,使用蚀刻液按照不同喷射速度进行刻蚀测...
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