一种圈梁结构高性能压电加速度计的制作方法技术资料下载

技术编号:20043630

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本发明属于振动传感器领域,尤其是涉及一种圈梁结构高性能压电加速度计。背景技术加速度计是一类基于质量-弹簧-阻尼系统的惯性传感器。当系统发生振动时,质量会在弹簧上施加载荷,因此通过测量弹性体形变,即可获得加速度信息。按照敏感元件,加速度计又分为压电式、压阻式或电容式等,其中以压电加速度计的应用最为广泛。压电加速度计利用有源材料的压电效应,将压电元件与弹性体结合,当惯性质量受到机械作用力时,通过弹性体形变,施加在压电元件上的力也随之变化,从而使其表面产生电荷,通过测量电荷的变化得到机械力的变化规律。...
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