技术编号:20045651
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种化学吸附处理装置,特别是一种结合气流分离粉尘及干式吸附技术的旋风集尘的干式化学吸附处理装置。背景技术随着科技的进步,带给使用者许多便利的科技产品,例如液晶显示器、智慧型手机或电脑等,改变了人们的生活习惯,也带给使用者便利性。而形成一个科技产品,需要经过无数道的制程,以及经由多个工厂生产、加工,才能形成生活环境中十分常见的科技产品。这些科技产品的制造,例如半导体,从设备制造、积体电路制造、晶圆材料制造、光罩制造等,以形成晶圆、封装、应用,在这些过程中,例如晶圆制程及后续清洗等过程会使...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。