包括适形涂层的磨料制品和由其形成的抛光系统的制作方法技术资料下载

技术编号:20063670

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本公开涉及具有适形涂层的磨料制品(例如具有适形涂层的垫修整器)以及由其形成的抛光系统。背景技术具有涂层的磨料制品已经在例如美国专利5,921,856、6,368,198和8,905,823以及美国专利公布2011/0053479和2017/0008143中进行了描述。发明内容磨料制品通常用于研磨各种基底,以便从基底自身去除被研磨的基底表面的一部分。从基底表面去除的材料通常被称为切屑。磨料制品的一个问题是,切屑可能积聚在磨料制品的研磨表面上,从而降低磨料制品的研磨能力。从磨料制品去除切屑通常是困难...
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