具有每孔多个传感器的化学传感器阵列的制作方法技术资料下载

技术编号:20075871

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本案为分案申请。其母案的发明名称为“具有每孔多个传感器的化学传感器阵列”,申请日为2014年6月4日,申请号为201480044626.0。相关申请案本申请案主张2013年6月10日提交的第61/833,375号美国临时申请案的优先权,所述申请案以引用的方式并入本文中。本发明涉及用于化学分析的传感器,并且涉及用于制造此类传感器的方法。背景技术在化学过程的检测中已经使用多种类型的化学传感器。一种类型是化学敏感场效应晶体管(chemfet)。chemfet包含由通道区分离的源极和漏极以及耦合到通道区...
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