技术编号：20101844
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅单晶棒拉晶设备技术领域，特别涉及一种单晶硅制备用水冷热屏及单晶炉。背景技术单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制过程中，通过水冷热屏有效的提高了晶棒的冷却速度，从而提高了拉制效率，目前一些单晶炉加装了水冷热屏，由于冷却效率不高，造成晶棒拉制速度低。发明内容有鉴于...
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