技术编号：20116973
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种降低超高频体声波谐振器有效机电耦合系数的方法。背景技术无线和移动通信系统的迅猛发展，推动着组件性能和系统集成技术的快速创新。为了获得更快的信号处理和减少集成的复杂性,小型化和与cmos技术兼容的微机电系统(mems)谐振器成为了新一代的核心器件,因此高性能的mems谐振器技术作为先进的无线通信系统射频前端的基础组件具有很高的需求。目前射频滤波器一般由声表面波谐振器(saw)和薄膜体声波谐振器(fbar)搭建，但是对于更高频段的滤波器，声表面表面声波谐振器的叉指电极需要更小的指宽，过...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。