技术编号：20258874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于气体激光器制造技术，特别是涉及一种气体激光谐振腔处理装置。背景技术气体激光器谐振腔内部通常具有毛细孔通道，且充有低气压的工作气体。在正常工作时，在电极之间施加高压，谐振腔内形成直流气体放电通道，激励并实现能级间粒子数反转进而产生激光。在气体激光器制造过程中需要对谐振腔进行放电清洗处理，用于清除腔内及吸附在谐振腔毛细孔管壁上的杂质，提升洁净度，从而保持内部工作气体成分稳定，确保激光器长期工作寿命和参数稳定。对气体激光谐振腔内部毛细孔的处理普遍采用直流辉光放电清洗方法，可以去除表面有机...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。