技术编号:20306235
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于mo源封装容器技术领域,具体涉及了一种具有高流量饱和度的简易式mo源钢瓶。背景技术mo源(metalorganicsource)是指mocvd外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等),在外文文献中,mo源通常也被称为“mocvd的前体物”,目前被广泛应用于led外延片制造行业中。如公开号为cn109852948a的中国发明专利在背景技术中的记载内容,由于mo元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有...
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