技术编号：20341917
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于梳齿结构的mems线性静电驱动技术，属于微机电系统领域。背景技术微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，简称mems)指其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。mems器件结构微小，传统的驱动方法在mems器件中难以奏效，其常用的驱动方法包括静电驱动、压电驱动、电磁驱动或者热膨胀力驱动等。其中，静电驱动具有低功耗，制作简单，与集成电路(ic)工艺兼容，响应速度快等优点，在mems领域最为常见。静电驱动利用两平行极板间的静电力/力...
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