技术编号：20362613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种倾斜角度量计算装置、具备倾斜角度量计算装置的样品台及带电粒子射线装置以及程序。背景技术扫描电子显微镜(sem：scanningelectronmicroscope)是如下的装置：将被加速的电子射线会聚为电子射线束，以在样品表面上周期性地扫描的方式进行照射，并检测从样品的被照射的局部区域产生的反射电子和/或二次电子等，并将这些电信号转换为材料组织像，由此观察材料的表面形态、晶粒以及表面附近的位错等。在真空中从电子源引出的电子射线被立即加速，根据观察目的来以从1kv以下的低加速电压到3...
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