技术编号：20362616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及一种用于生成线性等离子体的电极对，其中，电极是分段的。更具体地，本发明涉及一种等离子体源，例如，空心阴极等离子体源，其包括一个或多个等离子体生成电极对，其中，电极是分段的。本发明进一步涉及用于控制线性等离子体的均匀度的方法，并且还涉及用于利用线性等离子体源以均匀的方式对基板进行表面处理或涂覆的方法。背景技术现有技术中披露了用于表面的薄膜沉积和化学改性、或表面处理的各种等离子体源。然而，线性等离子体可能比点等离子体源具有更多的实际应用的潜力。线性等离子体源创建通常垂直于要处理的基板...
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