技术编号:20451976
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光照射装置。背景技术专利文献1公开一种在将基片在机械手和基片台之间传递的过程中通过推顶销升降基片的激光照射装置。现有技术文献专利文献专利文献1:公开号为2006-5032的日本未审查专利申请发明内容发明解决的技术问题本发明的发明人发现,激光照射装置所使用的基片传送台存在各种问题。根据本说明书的描述以及附图,其他待解决的问题以及新颖特征将变得容易理解。解决问题的技术手段一种实施方式的激光照射装置包括:固定于底部法兰上端的基片台,该基片台构造为供基片置于其上;以及用于支撑所述基片的推...
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