技术编号：20454192
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体传感器领域，尤其涉及一种用于臭氧气体传感器的气敏传感器件及其制备方法和用途。背景技术臭氧(ozone)作为自然界稳定存在的气体，对人们的生活具有很重要的影响。因为臭氧自身存在的强氧化性和其分解产物的无毒害性，常常被用作人们日常生产、生活所排出污水的消毒剂和净化剂；除了用于水的净化消毒以外，臭氧气体还被广泛用于食品、医药行业的消毒。但是，过量的臭氧会对人体健康、农业生产和生态系统造成许多不利的影响。因此，在生产和生活领域中，对于臭氧含量的监控显得尤为重要。经过数十年的发展，目前商用...
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