技术编号：20496824
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及oled的制作方法，更详细地，涉及一种利用有机材料蒸镀用溅射装置形成oled用有机薄膜层的方法、以及用于执行该方法的溅射装置、以及在该rf溅射装置中使用的靶材的成型装置。背景技术oled是有源矩阵有机发光二极管(activematrixorganiclightemittingdiode)的简称。是利用在施加电流时自发光的物质的el(electroluminescence)显示的一种。由于使用自发光物质，不会像lcd一样需要背光源。因此，具有功耗低，轻便，结构薄等特性。如图1所示，ole...
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