技术编号:20563259
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及高温氧化的技术领域,具体涉及一种碳化硅高温氧化高效出料装置。背景技术碳化硅由于硬度高且耐热性和耐磨性优异而被用作研磨剂,此外,由于刚性高且导热率高,因此在能量领域和航空宇宙领域中,作为代替金属等的材料,例如轴承和机械密封、半导体制造装置用部件来使用。碳化硅进一步具有作为半导体的性质,其单晶被用于功率器件等,是受人关注的材料。现有技术中碳化硅高温氧化出料时,由于碳化硅粉碎不彻底,且氧化后温度变化大,都严重降低了碳化硅高温氧化的效率和质量。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于克...
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