技术编号：20699584
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种静电吸头，特别是涉及一种用以通过静电压力拾起微型元件的静电吸头。背景技术近年来，微型元件在许多应用领域都逐渐兴起。在与微型元件相关的各个技术层面中，元件转移工艺是微型元件商业化时最具挑战性的任务之一。元件转移工艺的一个重要议题是静电吸头的设计。发明内容本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，而提出一种改进的静电吸头，可以防止静电吸头刮伤、使聚合物层与待拾取的微型元件之间有更好的接触、增强拾取微型元件的静电压力、并可避免静电吸头的漏电流现象。本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。