半导体装置的制作方法技术资料下载

技术编号:20773330

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在本说明书中公开的技术涉及半导体装置。背景技术日本特开平10-27900号公报公开了平面栅极型的半导体装置。该半导体装置具备:半导体基板;覆盖半导体基板的上表面的一部分的绝缘膜;设置于绝缘膜的内部,隔着绝缘膜而与半导体基板的上表面对向的栅电极;与半导体基板的上表面的另一部分相接的上表面电极;与半导体基板的下表面相接的下表面电极。半导体基板具备:在上表面与上表面电极相接的n型的第一半导体区域(源极区域或发射极区域);位于第一半导体区域的周围,并在上表面隔着绝缘膜而与栅电极对向的p型的体层(也称为基...
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