技术编号：20820980
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种辅助装置，具体涉及一种用于光学镀膜时bar条摆放的辅助装置。背景技术目前，光通信用半导体激光器的制备，代表了先进微纳加工和器件集成工艺的发展方向，得到了国际上各个国家的高度重视，光通信用的半导体激光器是光纤通信的核心。目前，光通信用半导体激光器主要应用inp衬底片进行外延生长及后端加工，在后端加工中bar条端面光学镀膜工艺是保证激光器参数的关键工序。bar条光学镀膜，就是在bar条的两端镀上相应的光学介质膜层，在镀膜过程为了保证镀膜质量，bar条不能连续摆放，要在bar条间夹放...
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