技术编号:20873998
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用刀轮在树脂基板或脆性材料基板上加工分断用的刻划线的刻划装置及刻划方法。背景技术通常,在从大尺寸的母基板切出单位基板的情况下使用例如专利文献1中所示的刻划装置,一边使刀轮按压于母基板的表面一边移动而形成纵向、横向的刻划线(切槽),接下来通过使基板挠曲等而从刻划线分断,由此取出单位基板。以往的刀轮如图8及图9所示,将保持在刀具保持器9b上的轴20以旋转自如的方式插入在刀轮2的轴孔中而形成。并且,通过使与刀具保持器9b相连的刻划头或保持所加工的基板的工作台移动,从而使刀轮2在与基板的摩擦力...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。