技术编号：20934426
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请主张于2018年11月26日提出申请的日本专利申请第2018-219946号的优先权及其利益，其全部内容以参照的方式并入本申请。本发明涉及溅射靶的捆包结构体及溅射靶的捆包方法。背景技术作为无机薄膜的形成方法，已知溅射法。在实施溅射法的溅射装置中，包括使用平板型溅射靶作为溅射靶的装置、和使用筒型溅射靶作为溅射靶的装置。这些之中，使用筒型溅射靶的溅射装置形成为下述这样的构成：一边从筒型溅射靶的内侧将靶材冷却，一边在使筒型溅射靶旋转的同时实施溅射。因此，使用筒型溅射靶的溅射装置中，靶材的使用效率...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。