技术编号：20941981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及超分辨成像、光刻及数据存储领域，特别涉及一种聚焦方法和聚焦装置。背景技术激光由于单色性号、亮度高、准直性号、发散角小等特点，在微观测量和精密检测中发挥重要作用，广泛应用于激光数据存储、激光雷达、光刻设备和扫描显微镜等各个方面。在光刻技术以及高密度数据存储中，为了实现更高分辨率的测量，通常需要将激光光束聚焦到超分辨的聚焦光斑。而为了实现更小的聚焦光斑，需要复杂且高成本的设备，难以应用到工业生产。发明内容本申请的实施例提供了一种聚焦方法和聚焦装置。本申请实施方式的聚焦方法包括将光源发出的入...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。