一种电池片湿法刻蚀水膜产生装置的制作方法技术资料下载

技术编号:21037446

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本实用新型涉及光伏产业电池制造技术领域,尤其涉及一种电池片湿法刻蚀水膜产生装置。背景技术太阳能电池作为绿色、环保的新能源受到全世界的广泛关注。全球光伏产业发展非常迅速,国内的光伏产业不断发展壮大。目前晶体硅太阳能电池片的主要生产流程为,制绒,扩散,湿法刻蚀,镀膜,印刷,测试。目前的湿法刻蚀工艺,主要是在硅片上覆盖一层保护正面扩散层的水膜,然后经过混酸溶液进行边缘和背面腐蚀,以达到刻蚀目的。然而,生产过程中由于受到扩散后硅片表面状态差异、机台抽风的稳定性、液体循环流量稳定性和腐蚀液液位稳定性等影响...
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