一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:21090235

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本发明属于气体探测技术领域,具体涉及一种光学谐振腔原理的金属氧化物气体传感器。背景技术众所周知的一个问题是在油品生产或类似设施中可能产生有毒气体,而光学传感器通常用于通过监测气体的吸收谱或荧光谱来监测这样的环境,现有技术中以以下步骤对有害气体执行测量:将气体引入测量单元并且发射某一波长或波长范围的光穿过单元,以及直接检测对所选的典型波长的吸收或者在检测器处测量荧光谱,通常使用法布里-珀罗干涉仪(fabryperotinterferometer)来选择特定用于要检测的气体的波长。上述气体传感器主要...
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