技术编号:21106348
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及提纯气体的制造装置及提纯气体的制造方法。背景技术日本特开平5-4809号公报(专利文献1)中公开了一种使用锆-钒二元合金等吸附金属去除氦气等惰性气体中含有的氧气、水分等杂质的提纯方法。日本特开平7-31877号公报(专利文献2)中公开了一种通过使作为杂质含有氧气及水分的惰性气体在加热条件下与以镍等为主成分的吸附剂接触而将氧气从惰性气体中去除,之后在常温下将残存在惰性气体中的水分吸附去除以制造提纯气体的技术。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开平5-4809号公报专利文献2:日本特开...
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