技术编号：21160143
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于曝光机小缺口晶圆定位校准装置，属于晶圆定位技术领域。背景技术目前led业内，为了提高晶圆利用率开始大范围使用小缺口定位槽晶圆代替原有定位槽晶圆。由此使得进行曝光制程时需要进行，定位槽定位。目前曝光设备寻边器定位均是为定位槽寻边设计，无法满足小缺口notch晶圆寻边定位需求。目前最接近本实用新型的技术方案：使用传输装置将晶圆送至旋转平台，使用夹爪对晶圆进行定中心，固定中心的晶圆会吸附在旋转马达的真空吸盘，并进行旋转，寻边单元下方45°处有光纤感应器对旋转的边缘进行侦测，当检测...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。