技术编号:21196873
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备,特别是涉及一种perc太阳能电池的镀膜方法。背景技术随着对太阳能电池的光电转换效率的要求越来越高,业界开始研究备钝化太阳能电池技术,例如perc(passivatedemitterandrearcell,即钝化发射极和背面电池技术)太阳能电池。示例性的对perc太阳能电池背面镀膜的工艺是管式pecvd(等离子增强型化学气相沉积)。示例性的管式pecvd镀膜设备通过将硅片插入石墨舟,再将石墨舟送入石英管沉积镀膜。石墨舟通过多个卡点...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。