技术编号:21243028
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅微粉生产技术领域,尤其涉及一种熔融硅微粉清洗提纯装置。背景技术熔融硅微粉具有热膨胀系数小,内应力低,高耐湿性,低放射性等优良特性,其主要用途用于大规模及超大规模集成电路用塑封料,环氧浇注料,灌封料,及其它化工领域。熔融硅微粉使用时其纯度和粒径对其性能的影响较大,因此需要对熔融硅微粉进行清洗提纯,但是现有的清洗提纯装置大多直接通过水洗过滤,这样虽然能去除一部分杂质,但是杂质去除率低,需要反复多次操作,费时费力,而且后续还要重新对熔融硅微粉进行分级筛选,操作繁琐。实用新型内容本实用新...
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