技术编号：21313831
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池生产制造技术领域，更具体的是涉及一种氢氟酸循环利用洗石墨舟的方法。背景技术在电池生产中的需要使用到大量的氢氟酸，一方面是在制绒工序，对绒面进行制绒，另一方面还需要使用氢氟酸去除硅片表面的氧化层，还需要使用氢氟酸清洗硅片表面或石墨舟表面的氮化硅，还有对石墨舟表面的氧化层进行清洗等，所以氢氟酸的耗量很大，而且排放量也很大。现有技术中镀膜后的返工片清洗机使用外围集中供酸液进行去氮化硅清洗，将氢氟酸抽入pe返工片清洗机内进行浸泡清洗和纯水漂洗，这部分氢氟酸经过反复使用后，直接排掉，另...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。